固态摄影元件及其制造方法

摘要

在采用纵型溢漏的CCD固态摄影元件中，抑制由输出放大器的电源电压的下降引起的电荷的漏出。利用三次杂质的注入工程，形成设置在N型矽基板2的背面的N型杂质层6和表面的N井4或N+扩散层之间的P井，使杂质浓度互相不同，形成摄像部及蓄积部下面的P井、水平传输部下面的P井10、以及输出部下面的P井60。配置在输出部下面的P井60的P型杂质的浓度形成得比其他区域的P井10的高。