VACUUM TREATMENT OF STRIP-SHAPED SUBSTRATES

摘要

Bei der Behandlungsanlage zur Vakuumbehandlung, insbesondere Vakuumbeschichtung einer Vorderseite von bandförmigen Substraten in einer ersten Prozesskammer mit einer ersten Prozesswalze und zumindest einer Prozessquelle und einer zweiten Prozesskammer mit einer zweiten Prozesswalze und zumindest einer Prozessquelle, ist vorgesehen, dass eine zwischen der ersten und der zweiten Prozesskammer angeordnete Transferkammer, welche mit beiden Prozesskammern gekoppelt und druckmäßig von zumindest einer der Prozesskammern trennbar ist und eine Abwickeleinrichtung mit einem herausnehmbaren Abwickel und eine Aufwickeleinrichtung mit einem heraus nehmbaren Aufwickel für das zu behandelnde Substrat sowie eine Außenschleuse zur Be- und Entladung von Abwickel und/oder Abwickel aufweist. Dabei ist das zu behandelnde Substrat mit seiner Rückseite der ersten und zweiten Prozesswalze zugewandt und von der Abwickeleinrichtung zur ersten Prozesswalze, von der ersten Prozesswalze zur zweiten Prozesswalze und von der zweiten Prozesswalze zur Aufwickeleinrichtung durch die Transferkammer führbar. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betrieb der Behandlungsanlage.