电浆处理装置及方法

摘要

本发明之电浆处理装置之喷嘴头NH具备：环状之内侧支架3，包围该支架3之环状之内侧电极11，包围该电极11之环状之外侧电极21，及包围该电极21之环状之外侧支架4。在内侧支架3上，于周方向分开设置数个将内侧电极11向径方向外侧挤压之螺栓7。在外侧支架4上，于周方向分开设置数个将外侧电极21向径方向内侧挤压之螺栓8。藉此，可轻易进行环状电极11,21之拆卸、安装及定心之作业。