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发明名称
摘要
申请公布号
JP2008536312(A)
申请公布日期
2008.09.04
申请号
JP20080505349
申请日期
2006.03.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/308;C23F1/44
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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