发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100856654(B1) 申请公布日期 2008.09.04
申请号 KR20057017068 申请日期 2005.09.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/505;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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