发明名称 |
Plasmadetektor und Laservorrichtung mit dem Plasmadetektor |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE602005008289(D1) |
申请公布日期 |
2008.09.04 |
申请号 |
DE20056008289T |
申请日期 |
2005.02.04 |
申请人 |
YAMAZAKI MAZAK K.K. |
发明人 |
YAMAZAKI, TSUNEHIKO;MIYAGAWA, NAOOMI |
分类号 |
B23K26/00;B23K26/03;B23K26/08;B23K26/38 |
主分类号 |
B23K26/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|