发明名称 Plasmadetektor und Laservorrichtung mit dem Plasmadetektor
摘要
申请公布号 DE602005008289(D1) 申请公布日期 2008.09.04
申请号 DE20056008289T 申请日期 2005.02.04
申请人 YAMAZAKI MAZAK K.K. 发明人 YAMAZAKI, TSUNEHIKO;MIYAGAWA, NAOOMI
分类号 B23K26/00;B23K26/03;B23K26/08;B23K26/38 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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