发明名称 Herstellungsverfahren für eine integrierte Halbleiterspeichervorrichtung und entsprechende Halbleiterspeichervorrichtung
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine integrierte Halbleiterspeichervorrichtung, umfassend: ein Halbleitersubstrat (1); eine Mehrzahl von Reihen aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3), ausgebildet auf dem Halbleitersubstrat (1), wobei jede der Reihen aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3) eine Mehrzahl von Speicherzellen-Auswahltransistoren mit einem zugehörigen Wortleitungs-Kontakt (WC), einem Bitleitungs-Kontakt (CB) und mit einem Knoten-Kontakt (N1-N4) aufweist; eine Mehrzahl gefüllter Isoliergräben (IT), welche zwischen den Reihen aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3) angeordnet sind; eine Mehrzahl von Verdrahtungsstreifen (u1', u2', u2'', u3', u3'', u4', u4'', u5', u5'', u6', u6'', u7'), von denen jeder einen zugeordneten Knoten-Kontakt (N1-N4) eines Speicherzellen-Auswahltransistors von einer Reihe aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3) oberhalb eines benachbarten gefüllten Isoliergrabens (IT) verdrahtet, um einen entsprechenden verdrahteten Knoten-Kontakt (N1'-N4') zu bilden; eine Mehrzahl von Bitleitungen (BL1, BL2, BL3), welche an die Reihen aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3) angegliedert sind und oberhalb der Reihen aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3) verlaufen, wobei die Bitleitungen (BL1, BL2, BL3) mit den Bitleitungs-Kontakten (CB) der Speicherzellen-Auswahltransistoren der zugehörigen Reihen aktiver Gebiete (AA1, AA2, AA3) verbunden sind; eine Mehrzahl von Wortleitungen (W1-W4), welche senkrecht zu den Bitleitungen (BL1, BL2, BL3) verlaufen und welche mit den Wortleitungs-Kontakten (WC) ...
申请公布号 DE102007008989(A1) 申请公布日期 2008.09.04
申请号 DE200710008989 申请日期 2007.02.23
申请人 QIMONDA AG 发明人 WEIS, ROLF
分类号 H01L21/8242;H01L27/105;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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