发明名称 MAGNETIC ANNEALING TOOL HEAT EXCHANGE SYSTEM AND PROCESSES
摘要
申请公布号 EP1964160(A1) 申请公布日期 2008.09.03
申请号 EP20060837695 申请日期 2006.11.15
申请人 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. 发明人 JIBB, RICHARD, JOHN;BILLINGHAM, JOHN, FREDRIC;MCMAHON, KEVIN;O'SHAUGHNESSY, NOEL;DUFFY, EDWARD;FERRIS, PETER
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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