| 发明名称 |
等离子辅助化学气相沉积装置 |
| 摘要 |
本发明涉及一种等离子辅助化学气相沉积装置。该等离子辅助化学气相沉积装置包括一射频电路、一第一电极板和一第二电极板，该第二电极板与该第一电极板相对设置。该第一电极板包括至少两个子电极板。该射频电路包括一射频功率源和至少两个可变电阻，该射频功率源的一端与该第二电极板连接，该射频功率源的另一端分别经由该可变电阻连接到该至少两个子电极板。 |
| 申请公布号 |
CN101255553A |
申请公布日期 |
2008.09.03 |
| 申请号 |
CN200710073407.7 |
申请日期 |
2007.02.28 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
颜硕廷 |
| 分类号 |
C23C16/513(2006.01);C23C16/52(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/513(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1. 一种等离子辅助化学气相沉积装置，其包括：一射频电路、一第一电极板和一第二电极板，该第二电极板与该第一电极板相对设置，其特征在于：该第一电极板包括至少两个子电极板，该射频电路包括一射频功率源和至少两个可变电阻，该射频功率源的一端与该第二电极板连接，该射频功率源的另一端分别经由该可变电阻连接到该至少两个子电极板。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
