| 发明名称 | 高温质子交换的LiNbO<SUB>3</SUB>光波导制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及集成光学光波导制作领域，具体的讲是涉及一种高温质子交换的LiNbO<SUB>3</SUB>光波导制造方法，该方法在铌酸锂基片上制作无相变的波导，制作出的波导主要适用于光纤陀螺的多功能芯片，该波导制造方法依次完成熔料工序、质子交换工序、退火工序和反质子交换工序，其特征在于该方法的质子交换工序是在350℃±3℃的温度状态下进行的，其特点是：波导由纯粹H<SUB>x</SUB>Li<SUB>1－x</SUB>NbO<SUB>3</SUB>的α相构成，结构均匀、简单，波导的稳定性好，并且提高了成品率，降低了温度差异对基片的冲击，避免了对环境的污染，降低了器件的损耗，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101256253A | 申请公布日期 | 2008.09.03 |
| 申请号 | CN200710173783.3 | 申请日期 | 2007.12.29 |
| 申请人 | 上海亨通光电科技有限公司 | 发明人 | 曹泽煌;张海林;王若东 |
| 分类号 | G02B6/13(2006.01) | 主分类号 | G02B6/13(2006.01) |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 徐小蓉 |
| 主权项 | 1.一种高温质子交换的LiNbO3光波导制作方法，该方法依次完成熔料工序、质子交换工序、退火工序和反质子交换工序，其特征在于该方法的质子交换工序是在350℃±3℃的温度下、密封石英罐中进行的。 | ||
| 地址 | 200436上海市江场西路555号 | ||