发明名称 半导体层
摘要 本发明提供发光元件及半导体基板的制作方法。该发光元件包含:β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板、在所述β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。该半导体基板的制作方法包含:在β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板上形成GaN系半导体层的步骤;在所述GaN系半导体层上形成GaN系外延层的步骤;以及从所述GaN系外延层削除所述β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板和所述GaN系半导体层,制作所述GaN系外延层的基板的步骤。
申请公布号 CN101257079A 申请公布日期 2008.09.03
申请号 CN200810089385.8 申请日期 2004.08.04
申请人 株式会社光波 发明人 一之濑升;岛村清史;青木和夫;恩卡纳西翁·安东尼亚·加西亚·比略拉
分类号 H01L33/00(2006.01);H01L21/20(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 蒋亭;苗堃
主权项 1.发光元件,其特征在于包含:β-Ga2O3基板、在所述β-Ga2O3基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。
地址 日本东京都