发明名称 |
半导体层 |
摘要 |
本发明提供发光元件及半导体基板的制作方法。该发光元件包含:β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板、在所述β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。该半导体基板的制作方法包含:在β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板上形成GaN系半导体层的步骤;在所述GaN系半导体层上形成GaN系外延层的步骤;以及从所述GaN系外延层削除所述β-Ga<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>基板和所述GaN系半导体层,制作所述GaN系外延层的基板的步骤。 |
申请公布号 |
CN101257079A |
申请公布日期 |
2008.09.03 |
申请号 |
CN200810089385.8 |
申请日期 |
2004.08.04 |
申请人 |
株式会社光波 |
发明人 |
一之濑升;岛村清史;青木和夫;恩卡纳西翁·安东尼亚·加西亚·比略拉 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01);H01L21/20(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
蒋亭;苗堃 |
主权项 |
1.发光元件,其特征在于包含:β-Ga2O3基板、在所述β-Ga2O3基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。 |
地址 |
日本东京都 |