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发明名称 VALVE ASSEMBLY HAVING IMPROVED CONDUCTANCE CONTROL
摘要
申请公布号 EP1668278(A4) 申请公布日期 2008.09.03
申请号 EP20040780684 申请日期 2004.08.10
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 LUCAS, PAUL, D.;CARBONE, ANTHONY, J.
分类号 F16K3/00;F16K3/06 主分类号 F16K3/00
代理机构 代理人
主权项
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