基于金属表面等离子激元的微型阵列滤光片

摘要

本发明公开了一种基于金属表面等离子激元的微型阵列滤光片。它是在光学基板上设有多个阵列单元，每个阵列单元中间设有一个亚波长细缝，亚波长细缝两侧间隔设有多个入射面或出射面或入射面和出射面对称分布的线性栅格凹槽，线性栅格凹槽的间距与线性栅格凹槽的宽度相同。本发明制作工艺简单、体积小，可与LED、光敏探测、光学成像传感器等结合，构成亚波长、高分辨率、集成度高的各种滤光片及成像光谱仪，在光学刻蚀、高密度数据存储、近场光学、空间探测、以及医疗诊断中有广泛的应用前景。可用于微波、红外以及可见光波段。

主权项

1.一种基于金属表面等离子激元的微型阵列滤光片，其特征在于在光学基板(1)上设有多个阵列单元，每个阵列单元中间设有一个亚波长细缝(2)，亚波长细缝(2)两侧间隔设有多个入射面或出射面或入射面和出射面对称分布的线性栅格凹槽(3)，线性栅格凹槽的间距与线性栅格凹槽的宽度相同。