显微测量装置

摘要

本发明提供一种显微测量装置，所述显微测量装置具有：被相对镜筒(11)固定、并用于会聚来自物镜(Lo)的平行光线的第1中间透镜(L1)；半透半反镜(HM)，使通过所述物镜(Lo)和所述第1中间透镜(L1)的光的一部分通过、一部分反射；在被所述半透半反镜(HM)反射的光通过的位置上被设置成可沿该光路(C)移动的第2中间透镜(L2)；检测器(16)，设置在所述第2中间透镜(L2)的前面并且被设置成可沿光路(C)移动；移动机构(M1、M2)，移动所述第2中间透镜(L2)和检测器(16)，使得所述检测器(16)的成像位置与来自所述样品(S)的光被第2中间透镜(L2)会聚后的会聚点一致；以及调节所述移动机构(M1、M2)的移动量的控制部(20)。本发明不更换物镜便可以改变倍率和/或检测范围。

主权项

1.一种显微测量装置，其特征在于，具有：使来自样品的光成为平行光线的物镜；用于会聚来自所述物镜的平行光线的第1中间透镜；设置在所述第1中间透镜的与所述物镜相反一侧的半透半反镜，该半透半反镜使通过所述物镜和所述第1中间透镜的光的一部分通过，并使一部分反射；固定所述物镜、所述第1中间透镜、和所述半透半反镜的镜筒；在被所述半透半反镜反射的光通过的位置上设置的第2中间透镜，该第2中间透镜可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；设置在所述第2中间透镜的与所述半透半反镜相反一侧的检测器，该检测器可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；移动所述第2中间透镜的第1移动机构；移动所述检测器的第2移动机构；以及控制部，调节所述第1移动机构和/或第2移动机构的移动量，使得所述检测器的成像位置与来自所述样品的光被第2中间透镜会聚后的会聚点一致。