衬底传送装置

摘要

一种衬底传送装置，其具有框架、驱动部分和铰接式臂。驱动部分具有至少一个电动机模块，其可以从一些不同的可互换的电动机模块中选择，用于放置在驱动部分中。每一电动机模块都具有不同的预定特征。铰接式臂具有铰接关节。该臂连接到驱动部分上以用于铰接。臂具有可选的结构，其可从每个都具有预定构造特征的一些不同的臂结构中选择。对臂结构的选择通过对用于放置在驱动部分中的至少一个电动机模块的选择而实现。

主权项

1、一种衬底传送装置，其包括：框架；连接到所述框架上的驱动部分，所述驱动部分具有至少一个电动机模块，而所述电动机模块能够从每个都具有不同预定特征的多个不同的可互换的电动机模块中选择，用于放置在所述驱动部分内；以及带有铰接关节的铰接式臂，所述臂连接到所述驱动部分上以铰接所述铰接关节中的至少一个，其中，所述臂具有可选的臂结构，其能够从每个都具有预定构造特征的多个不同的臂结构中选择，对所述臂结构的选择通过对用于放置在所述驱动部分内的所述至少一个电动机模块的选择而实现。