薄膜泵及具有薄膜泵的装置

摘要

一种薄膜泵及具有薄膜泵的装置，所述结构是主要包括一腔体，所述腔体内是具有一第一腔室及一第二腔室，且所述第一腔室与第二腔室相互连通，而所述腔体的一侧或两侧分别设有一进水管道及一出水管道，并与上述的第一腔室与第二腔室形成连通状态，于所述第一腔室及第二腔室同侧内壁面上分别设有阀体，以防止工作流体产生回流状态，另，于所述腔体顶面设有一薄膜，且所述薄膜上贴附一致动组件，以带动薄膜上、下摆动，压迫第一腔室内的工作流体产生单一方向的循环流动，藉此，除了将所述泵结构更为薄型化外，更提升所述泵的工作效能，使得工作流体的流量增大。

主权项

1. 一种薄膜泵，其特征在于，是包括：一腔体，所述腔体上分别具有一进水管道及一出水管道；一第一腔室，是设于所述腔体内，与所述进水管道形成连通；一第二腔室，是设于所述腔体内，与所述第一腔室及所述出水管道形成连通；多个用以防止工作流体回流的阀体，是分别设于所述第一腔室及第二腔室的内壁面上，其中一阀体是对应于进水管道的位置，另一阀体则对应于第一腔室及第二腔室所连通的位置上；一薄膜，是设于所述腔体顶面位置；一致动组件，是平贴于所述薄膜的上表面，所述致动组件具有一固定端及一摆动端；通过所述致动组件的摆动端所产生单边大幅度扇形摆动作用，使所述腔体内部的体积产生变化，以使存于腔体内部的工作流体自进水管道导入并自出水管道导出，而产生单一方向的流动。