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发明名称
摘要
申请公布号	JP4145353(B2)	申请公布日期	2008.09.03
申请号	JP19970538691	申请日期	1997.04.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/822;H01L27/04;H01L21/8234;H01L23/64;H01L27/06;H01L27/08;H01L29/8605;H01L29/866	主分类号	H01L21/822
代理机构		代理人
主权项
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