成膜装置、成膜装置系统、成膜方法、以及电子设备或有机电致发光元件的制造方法

摘要

本发明提供一种不浪费昂贵的有机EL原料，并且能够长时间地均匀地形成有机EL膜的成膜装置及用于该成膜装置的冶具。单一的原料容器部具备多个吹出容器，具备将原料容器部的有机EL原料气化后与载气一起供给到各吹出容器的配管系统切换到其他的吹出容器的配管系统的切换器。如此，通过将有机EL原料从单一的原料容器部切换供给到多个吹出容器，可以改善有机EL原料的利用效率。

主权项

1.一种成膜装置，其通过气化机构使原料气化，用载气传输所述气化了的原料，将包含所述气化了的原料的载气从气体放出机构放出到基板上使规定材料的膜堆积，其特征在于，相对于1个所述气化机构设有多个所述气体放出机构。