| 发明名称 |
ION BEAM ANGLE MEASUREMENT SYSTEMS AND METHODS EMPLOYING VARIED ANGLE SLOT ARRAYS FOR ION IMPLANTATION SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1964149(A2) |
申请公布日期 |
2008.09.03 |
| 申请号 |
EP20060847991 |
申请日期 |
2006.12.20 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
FREER, BRIAN |
| 分类号 |
H01J37/317;H01J37/244;H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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