发明名称
摘要
申请公布号 JP4145509(B2) 申请公布日期 2008.09.03
申请号 JP20010191316 申请日期 2001.06.25
申请人 发明人
分类号 C23C16/40;H01L21/316;H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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