镀膜设备

摘要

本发明是关于一种镀膜设备，是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、一承载座以及至少一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心以及至少一悬臂，第一齿轮固定环设于旋转轴心，传动单元包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，第二齿轮与第一齿轮啮合，第二齿轮与夹具分别轴设于轴心，轴心穿设过固设于悬臂上的轴承，承载座则承载基板，且夹具连结于承载座外围，而镀膜源用以形成镀膜层于基板上。本发明是利用第二齿轮带动夹具的转动，夹具具有复数各夹臂连结于承载座外围，故可利用承载座的承载面积来承载大面积的基板而有效增加产能，另由于承载座由夹具带动转动，加上传动单元相对旋转轴心旋转，而可增加基板镀膜层的均匀性。

主权项

1. 一种镀膜设备，其是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其特征在于其包括：一动力单元，其具有一旋转轴心以及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于该旋转轴心；一第一齿轮，其是以该旋转轴心为中心轴，固定环设于该旋转轴心；至少一传动单元，其包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，其中该第二齿轮是与该第一齿轮啮合，该第二齿轮与该夹具分别轴设于该轴心，该轴承固设于该悬臂的另一端，该轴心穿设过该轴承，该夹具具有复数个夹臂，所述的夹臂是以轴设于该轴心的连结处放射状沿设；一承载座，其是承载该基板，且所述的夹臂的一端是连结于该承载座的外围；以及至少一镀膜源，其是用以形成该镀膜层于该基板上。