闪光灯退火装置及其曝光时间控制方法

摘要

本发明提供一种闪光灯退火装置，包括一加热盘、一载具、一闪光灯组以及一控制电路。该加热盘，用以加热一受测材料至一预定温度。该载具，设置于该加热盘之上，用以装载该受测材料。该闪光灯组，具有一个或多个的闪光灯，用以提供该受测材料一额定功率。该控制电路，耦接该闪光灯组，用以控制该闪光灯组的一曝光时间。