渐变反射率镜的镀膜装置

摘要

一种渐变反射率镜的镀膜装置，安装架与一基板固定相连，在该基板之上通过支撑杆连接电机安装板，该电机安装板上设有两台步进电机，步进电机通过弹性联轴器分别与挡板安装盘旋转轴和基片旋转轴连接，所述的基片旋转轴和挡板安装盘旋转轴的下端分别与夹具支架和挡板安装盘连接，所述的夹具支架与基片夹具连接，在所述的挡板安装盘的相互垂直两直径上和边缘上分别设置第一圆孔、第一小圆孔和第二圆孔、第二小圆孔，第一圆孔用于安装镀制变化厚度层的挡板；所述基板的下方固定一侧板，侧板上的光电开关支架安装一凹槽式光电开关；步进电机通过真空室内的信号接口与室外的步进电机驱动器连接，步进电机驱动器与控制器相连，光电开关与控制器连接。

主权项

1、一种用于电子枪蒸发镀膜机的镀制渐变反射率镜的镀膜装置，包括安装架(11)，其特征在于该安装架(11)与一水平基板(15)固定相连，在该基板(15)之上通过支撑杆(18)连接一水平电机安装板(6)，该电机安装板(6)上设有第一步进电机(9)和第二步进电机(14)，所述的第一步进电机(9)和第二步进电机(14)通过第一弹性联轴器(28)和第二弹性联轴器(27)分别与挡板安装盘旋转轴(16)和基片旋转轴(17)连接，所述的基片旋转轴(17)和挡板安装盘旋转轴(16)通过轴承分别安装在所述的基板(15)上，所述的基片旋转轴(17)和挡板安装盘旋转轴(16)的下端分别与夹具支架(7)和挡板安装盘(13)连接，所述的夹具支架(7)与供待镀膜的基片放置的基片夹具(12)连接，所述的挡板安装盘(13)设置了尺寸相同的第一圆孔(20)和第二圆孔(21)，第一圆孔(20)用于安装镀制变化厚度层的挡板(26)，第二圆孔(21)不安装挡板，所述的挡板安装盘(13)的边缘上还设置了第一小圆孔(22)和第二小圆孔(23)，所述的第一小圆孔(22)与第一圆孔(20)的圆心在该挡板安装盘(13)的同一直径上，第二小圆孔(23)的圆心和第二圆孔(21)的圆心在该挡板安装盘(13)的另一直径上，该两直径相互垂直；所述的基板(15)的下方的一侧固定一侧板(10)，所述的侧板(10)的内侧安装一光电开关支架(8)，所述的光电开关支架(8)上安装一凹槽式光电开关(19)，当所述的挡板安装盘(13)被第一步进电机(9)驱动旋转时，所述的第一小圆孔(22)或第二小圆孔(23)旋转至所述的光电开关(19)的凹槽时，所述的光电开关(19)将通过所述的第一小圆孔(22)或第二小圆孔(23)发出定位信号，使所述的挡板安装盘(13)定位不动；所述的镀制变化厚度层的挡板(26)的通孔具有特定的形状，由所镀制的渐变反射率镜的设计决定；所述的第二步进电机(14)和第一步进电机(9)通过真空室内的信号接口与室外的步进电机驱动器(24)连接，该步进电机驱动器(24)与控制器(25)相连，所述的光电开关(19)与控制器(25)相连接。