发明名称 | 便携式模具清洗设备及其方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种便携式模具清洗设备和使用所述便携式模具清洗设备的模具清洗方法。本发明的目的是提供一种便携式模具清洗设备,其能够在不分离模具的情况下,通过使用所述在模具上界定的反应室中产生的等离子体放电,来对所述模具的表面,尤其是所述模具中的空腔的表面执行等离子体清洗工艺。本发明的所述便携式模具清洗设备包括:框架,其具有开口的下面,以在所述框架被固定在所述模具上时,在所述模具的表面与所述框架本身之间界定一种面向所述模具的所述表面的反应室;以及有源电极,其在所述模具电接地的状态下被放置在与所述模具相对的位置处,并从外部电源接收电功率,以在所述反应室中产生等离子体。 | ||
申请公布号 | CN101258579A | 申请公布日期 | 2008.09.03 |
申请号 | CN200680032325.1 | 申请日期 | 2006.09.05 |
申请人 | PSM有限公司 | 发明人 | 李海龙;李近浩;金德宰;吴正根;金道现 |
分类号 | H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/02(2006.01) |
代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁 |
主权项 | 1、一种用于使用等离子体放电来清洗模具的表面的便携式模具清洗设备,其特征在于其包括:框架,其具有开口的下面,以在所述框架被固定在所述模具上时,在所述模具的所述表面与所述框架本身之间界定面向所述模具的所述表面的反应室;以及有源电极,其在所述模具电接地的状态下,被放置在与所述模具相对的位置处,所述有源电极从外部电源接收电功率,以在所述反应室中产生等离子体。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |