带有挠性的光栅固定件的变窄光线的单元

摘要

本发明提供一种用于对产生高能激光束的基于光栅的激光器变窄光线的变窄光线装置。提供了一种挠性光栅固定件，它真正地消除了由于光栅和壳体结构之间的不同热膨胀而导致的光栅上的应力。使用一挠性光栅固定件将在一厚的超低膨胀玻璃基片上包括一十分薄的铝制表面的光栅附接至一铝制壳体结构上。在光栅固定件中至少设置一个挠曲连接部，它允许基片热膨胀和收缩。在一些实施例中，固定件包括一金属板，所述挠曲连接部是机加工到金属板中的带有四个腿部(126)的一H形的挠曲连接部(124)。在另一实施例中，设置了两个H形的挠曲连接部。在其它的实施例中，该挠曲连接部是一鸠尾连接部，它允许固定件的一端相对另一端滑动。

主权项

1. 一种用于对产生高能激光束的激光器进行变窄光线的基于光栅的变窄光线装置，所述装置包括：(1)一光栅，它设有固定在一刚性光栅基片上的开槽的一表面层或多表面层，所述光栅形成一纵向；(2)用于容纳至少所述光栅的一腔体；(3)用于提供用来清洗所述腔体的一清洗剂气体的一清洗装置；(4)一光束扩展装置，用来扩展来自所述激光器的光束以产生一扩展的光束；(5)一旋转装置，用来将所述扩展的光束定向到光栅表面上，以从所述扩展的光束选择一所需要的波长范围，以及(6)一挠性的光栅固定件，它包括：1)一第一部分和一第二部分，所述第一部分和所述第二部分各牢固地附接至所述腔体，并且所述光栅仅牢固地附接至所述第一部分；2)一挠曲连接部，它将所述第一部分连接至所述第二部分，以允许所述第二部分较为容易地沿着所述纵向相对所述第一部分运动。