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发明名称 INTEGRATION OF PLANAR AND TRI-GATE DEVICES ON THE SAME SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1964169(A1) 申请公布日期 2008.09.03
申请号 EP20060839287 申请日期 2006.12.06
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 CHANG, PETER L. D.
分类号 H01L21/8244;H01L27/11;H01L29/786 主分类号 H01L21/8244
代理机构 代理人
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