发明名称 Scanning unit of an optical position measuring device and optical position measuring device
摘要
申请公布号 EP1762827(B1) 申请公布日期 2008.09.03
申请号 EP20060011444 申请日期 2006.06.02
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 MARTIN, BARBARA;SCHENK, OLIVER
分类号 G01D5/347;G01D5/26 主分类号 G01D5/347
代理机构 代理人
主权项
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