外延炉尾气净化器

摘要

本发明涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器，它具有初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道通入初次洗涤室下部，填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口，排泄锥喷嘴喷淋装置下方装有圆锥形管口。本发明结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低，废气净化效率高，废气处理效果好，设备检修方便，维护停机时间短，设备正常运行时间长，工艺稳定性好，安全可靠。

主权项

1.一种外延炉尾气净化器，其特征是：具有壳体(1)，壳体(1)下方设置有密闭的水箱(2)，壳体(1)内设置有横隔板(3)和纵隔板(4)，将壳体内腔分隔成初次洗涤室(5)、二次洗涤室(6)和填料室(7)，二次洗涤室(6)设在初次洗涤室(5)上方，横隔板(3)中心开有通气口，横隔板(3)与壳体(1)间工作时形成水封，初次洗涤室(5)底部和填料室(7)底部与水箱(2)间工作时形成水封，壳体(1)顶端装有进气口(8)，进气口(8)通过进气管道(9)与初次洗涤室(5)下部相通，二次洗涤室(6)与填料室(7)通过通气管道(10)连通，通气管道(10)的进口在二次洗涤室(6)的上部、出口在填料室(7)的下部，初次洗涤室(5)内装有大流量喷嘴喷淋装置(11)，二次洗涤室(6)内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置(12)，填料室(7)内充填有填料(13)，填料室(7)的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置(14)和排气口(15)，排泄锥喷嘴喷淋装置(14)下方装有圆锥形管口(16)，水箱(2)顶端装有向水箱(2)补水的补水口(17)、水箱(2)的底部装有排污口(18)和排净口(19)，初次洗涤室(5)下部装有通向壳体(1)外的溢流管道(20)，溢流管道(20)的溢流口高于初次洗涤室(5)的底面，壳体(1)外装有循环泵(21)，循环泵(21)的进水口通入水箱(2)液面下、出水口通过水管(22)与大流量喷嘴喷淋装置(11)、细雾高速喷嘴喷淋装置(12)及排泄锥喷嘴喷淋装置(14)相连。