抗蚀剂剥离剂组合物

摘要

本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物及利用该组合物的抗蚀剂剥离及分解方法，具体地涉及一种包含胺基甲酸酯化合物的抗蚀剂剥离剂组合物。而且，本发明还提供一种包含：a)环状内酯类化合物，及b)醯胺类化合物、胺基甲酸酯化合物或其混合物的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物，在利用臭氧的工艺中可以选择性地分解去除使用抗蚀剂时所产生的抗蚀剂残留物，从而可大量地提高处理量，并且对金属布线或氧化膜具有抗腐蚀的防护效果。