使用活化的反应性气体对一基材进行表面处理的设备和方法

摘要

本文中说明供处理基材之至少一部分表面用之设备和方法。在一个方案中，该设备包含：加工室，其包含内部容积、该基材及排气歧管；活化的反应性气体供应源，其中藉由一或多种能源活化包含一或多种反应性气体与视需要地附加气体之加工气体以提供活化的反应性气体；及分配导管，与该内部容积和供应源呈流体连通的关系，其包含：多个将活化的反应性气体导入该内部容积的开口，其中该活化的反应性气体接触到该表面并且提供经由该排气歧管自该内部容积抽出之耗尽的活化的反应性气体及／或挥发性产物。