移除表面残余物之清洁配方

摘要

本发明提供可用于由一半导体基材移除残余物之一种非腐蚀性清洁组成物。该组成物包含水、至少一种基羧酸酯、至少一种水溶性羧酸，任选地，至少一种含氟化合物，及任选地，至少一种不含羧基之腐蚀抑制剂。本揭示也提供一种使用该非腐蚀性清洁组成物而由一半导体基材清洁残余物之方法。