气体供应装置及其操作方法

摘要

一种气体供应装置，此气体供应装置包括多个第一气体输送管线、多个气动阀、多个第二气体输送管线、多个第一电磁阀以及至少一组不断气系统。不断气系统主要是由第三气体输送管线、第二电磁阀、多个控制阀以及多个第四气体输送管线所组成。本发明之气体供应装置配置有至少一组不断气系统，因此可避免因电磁阀无预警的故障，而导致制程上的重大损失的问题。