| 摘要 |
本发明系关于可适当而正确地测定由装载于复数支架之复数喷出头所喷出之液状体重量之液滴喷出装置、液状体之重量测定方法、液状体之喷出方法及彩色滤光器之制造方法。液滴喷出装置1系包含排列于Y轴方向之复数支架单元21、设在各支架单元21之头单元61、接受由装载于各头单元61之复数液滴喷出头所喷出之液状体而依各液滴喷出头测定其重量之重量测定机构91、使作为工件之基板W与重量测定机构91分别独立且向X轴方向移动之X轴台22、及使复数支架单元21分别独立且向Y轴方向移动之Y轴台23。藉X轴台22使各支架单元21维持在扫描区域31之排列状态而配置于重量测定区域33。 |
