用以保护信号线迹免于电性干扰之电性防护结构

摘要

一种制作一防护结构的方法可包括在一探针卡总成之一元件上的一部分电信号导体上沈积一绝缘材料，以及在绝缘材料和至少一部分配置于探针卡总成上之电性防护导体上沈积一导电材料。每一信号导体可配置于一对防护导体之间。探针卡总成可包括配置成与一被测试之电子元件接触的多数探针。信号导体可为探针卡总成内通往探针的导电通路部份。