蒸镀装置

摘要

提供一种可以不使在蒸发产生部所产生之成膜材料之蒸气温度下降而送至蒸镀头的蒸镀装置。为一种藉由蒸镀对被处理体G施予成膜处理之蒸镀装置13，使对被处理体G施予成膜处理之处理室30，和使成膜材料蒸发之蒸发产生室31邻接配置，设置使处理室30之内部和蒸气产生室31之内部减压之排气机构36、41，在处理室30配置使成膜材料之蒸气喷出之蒸气喷出口80，在蒸气产生室31配置使成膜材料蒸发之蒸气产生部70~72，和控制成膜材料之蒸气供给的控制阀75~77，设置使在蒸发产生部31所产生之成膜材料之蒸气不散出至处理室30和蒸气产生室31之外部而供给至蒸气喷出口80的流路81~83、85。