紫外线照射装置及紫外线照射方法

摘要

经由紫外线硬化型接着剂层18，将黏贴有保护片S的半导体晶圆W作为被照射体，在相对于此的位置设有将复数紫外线发光二极体21配设于基板20上的紫外线照射部12。发光二极体21是沿着对于与晶圆W之相对移动方向大约正交的方向隔着大约等间隔所配置，而且各列的发光二极体21是具有大约同一的峰值波长，一方面互相邻接的发光二极体21的峰值波长是并不一定构成同一。