一晶圆吸盘及形成一晶圆吸盘的方法

摘要

本发明描述一种用于在一微影装置中使用之晶圆吸盘，其包括一低热膨胀玻璃陶瓷基板；一矽碳化矽层；及一具有一至少约5百万帕斯卡之强度之包含矽酸盐的黏合层，该黏合层将该矽碳化矽层附着至该基板。再者，描述一种形成一用于在一微影装置中使用之晶圆吸盘之方法，其包括以一黏合溶液来涂覆一低热膨胀玻璃陶瓷基板及一矽碳化矽层中之一或两者的一部分；及使该基板与该矽碳化矽层接触以将该基板与该矽碳化矽层黏合在一起。