基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明系提供一种可使处理液压送用泵之故障及配设于循环路径之过滤器的堵塞减少，同时可防止薄膜向基板再次附着之基板处理装置及基板处理方法。本发明中，将自喷洒头11、12向基板W供给，溶解溶解膜后含有薄膜之处理液回收之后，向离心分离器41输送此处理液。于离心分离器41中分离薄膜并向处理液外排出。经分离薄膜之处理液再次自喷洒头11、12向基板供给。