供应有机金属化合物的装置

摘要

本发明提供一种供应有机金属化合物的装置，其包括一容器，于该容器中放置着在室温下的固体有机金属化合物且承载着将该有机金属化合物昇华所用的载体气体，一承载体板，其能够将经承载在惰性承载体上的有机金属化合物，在让该载体气体从其中通过的情况下，维持在该容器的下部之中，一载体气体入口，其系在该容器的上部之内，及一载体气体出口，其系经配置在该容器底部份的该承载体板的下方；且其中该载体气体系从上方往下通过装载在该承载体板上面的经承载在惰性承载体上之有机金属化合物。