于化学气相沉积中作为前驱物的有机矽组合物的纯化方法

摘要

本发明提供了一种用作化学气相沉积的前驱物的有机矽组合物的纯化方法，即一种纯化含有烷氧基矽烷或羧基矽烷和硷性杂质的有机矽组合物的方法，该方法包括步骤：有机矽组合物与酸性气体接触，与硷性杂质反应后，形成包含所述酸性气体盐的沉淀物；以及除去所述酸性气体盐以形成纯化的有机矽产品。