发明名称 聚合物之制造方法,绝缘膜形成用组成物,暨二氧化矽系绝缘膜及其制造方法
摘要 本发明之聚合物之制造方法,系含有下述步骤:使(A)以下述一般式(1)所示之至少1种聚碳矽烷化合物、与(B)选自下述一般式(2)所示之水解性矽烷化合物所示之化合物的至少1种矽烷化合物,于(C)金属钳合化物及酸性触媒之任一者存在下进行反应而得到中间体,其后将该中间体于(D)硷性触媒之存在下进行处理。
申请公布号 TW200835723 申请公布日期 2008.09.01
申请号 TW096145546 申请日期 2007.11.30
申请人 JSR股份有限公司 发明人 野边洋平;中川恭志;服部清太郎;秋山将宏
分类号 C08G77/50(2006.01);C09D183/14(2006.01);H01B3/46(2006.01);H01L21/316(2006.01) 主分类号 C08G77/50(2006.01)
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本