容器之搬运系统及测量用容器

摘要

一种堆置器1，包括：一个储存用FOUP 20、多个净化单元50、一个测量用FOUP 30、及一个堆叠起重机60。储存用FOUP 20内部储存有一个半导体晶圆。测量用FOUP 30内部包括一个流量计。净化单元50包括一个具有多个用以放置储存用FOUP 20的净化台54的净化架51，而且，氮气被供应至净化台54上所放置的储存用FOUP 20内。堆叠起重机60将储存容器20搬运至净化台54上，而且，测量用FOUP 30系在多个净化台54之间被搬运。