电弧侦测系统及其侦测方法

摘要

一种电弧侦测系统，包括射频讯号探针。该射频讯号探针感测射频电浆室之输入处的射频讯号，并且根据该射频讯号的电压、电流和功率中至少之一而产生讯号。一讯号分析器接收此讯号，监视讯号中高于或等于该射频讯号的基本频率的频率分量，以及根据该频率分量产生输出讯号。该输出讯号指示该射频电浆室中产生电弧。