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经营范围
发明名称
用于测量描绘位置之方法与装置、及用于描绘影像之方法与装置
摘要
揭示一种描绘位置测量方法,其中当描绘面及调变进入光与在描绘面上形成描绘点之曝光头彼此相对移动,且在该相对移动期间,曝光头顺次于描绘面上形成描绘点以描绘影像时,使用于描绘面中形成之侦测隙缝测量描绘点之位置。在此方法中,于该相对移动期间,测量曝光头与侦测隙缝之间的相对位置偏差,及基于测量之位置偏差,修正使用侦测隙缝所测量之描绘点之位置。
申请公布号
TW200817824
申请公布日期
2008.04.16
申请号
TW096130324
申请日期
2007.08.16
申请人
富士软片股份有限公司
发明人
福田刚志;水本学
分类号
G03B27/72(2006.01);G03F7/20(2006.01)
主分类号
G03B27/72(2006.01)
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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