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发明名称 Apparatus for cleaning chamber using gas separation type showerhead
摘要
申请公布号 KR100855463(B1) 申请公布日期 2008.09.01
申请号 KR20060066983 申请日期 2006.07.18
申请人 发明人
分类号 B08B9/08;B08B7/00 主分类号 B08B9/08
代理机构 代理人
主权项
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