印刷式自对准上闸极薄膜电晶体

摘要

本发明系揭露一种自对准上闸极薄膜电晶体以及形成该电晶体的方法。首先形成半导体薄膜层;接着,将掺杂的玻璃图案列印于半导体薄膜层上,掺杂的玻璃图案中之间隙定义薄膜电晶体之沟道区域;接着,将闸电极形成于沟道区域上或上方,闸电极包含闸极介电薄膜以及位于闸极介电薄膜上之闸极导体;以及将掺杂物从掺杂的玻璃图案扩散至半导体膜层内。