发明名称 POSITION VARIATION MEASURING APPARATUS AND FIGURE INSPECTING APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100855849(B1) 申请公布日期 2008.09.01
申请号 KR20060091666 申请日期 2006.09.21
申请人 发明人
分类号 G01B11/24;G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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