VACUUM DEVICE COMPRISING SUBSTRATE DOME, ASSEMBLING AND DISASSEMBLING METHOD THEREOF, AND FILM-FORMING METHOD IN VACUUM DEVICE,申请号KR20067022026-传众专利搜索

发明名称	VACUUM DEVICE COMPRISING SUBSTRATE DOME, ASSEMBLING AND DISASSEMBLING METHOD THEREOF, AND FILM-FORMING METHOD IN VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号	KR100855174(B1)	申请公布日期	2008.08.29
申请号	KR20067022026	申请日期	2006.10.24
申请人		发明人
分类号	C23C14/50	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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