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发明名称
摘要
申请公布号	JP4138629(B2)	申请公布日期	2008.08.27
申请号	JP20030377246	申请日期	2003.11.06
申请人		发明人
分类号	H01S5/183;H01L21/00;H01L21/3205;H01L27/15;H01L29/26;H01L31/12;H01S5/32	主分类号	H01S5/183
代理机构		代理人
主权项
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