气密阀的密合结构

摘要

一种气密阀的密合结构，其于溅镀机腔室通孔的一侧枢设有一连接轴，该连接轴可枢设有数挡板，各挡板连接有一阀门；其中该各挡板上设有一固定孔及数螺孔；而该固定孔可穿设一螺栓，该螺栓上螺设有一螺帽，且该固定孔与螺栓穿设有插销，另该螺孔可螺设螺杆，该螺杆上位于挡板的两面设有螺帽；其中该阀门上相对于各挡板的固定孔分别设有一固定座，该固定座的周缘设有一压板，该压板设于阀门上；且该固定座可供螺栓螺设，并使螺栓可穿入阀门；藉此阀门与各挡板间，可利用螺栓及螺杆调整阀门的位置，使阀门调整到最密合的状态。

主权项

1.一种气密阀的密合结构，其特征在于，包括：一阀门本体，该阀门本体设有一通孔，该阀门本体外侧，相对于通孔的内壁面位置设有一气压缸；一连接杆，该连接杆枢设于通孔两端，该连接杆一端穿出通孔与该气压缸相连结；数挡板，各挡板的一端部固设于该连接杆上，而另一端则朝下延伸；其中该各挡板上设有一固定孔及数螺孔；该固定孔穿设一螺栓，该螺栓上螺设有一螺帽，该固定孔与螺栓通过插销穿设组接，且该螺孔可螺设螺杆，该螺杆上位于挡板的两面分别螺设有螺帽；一阀门，该阀门设于各挡板与抵压面间，各挡板的两螺杆压抵于阀门上，而该阀门上，相对于各挡板的固定孔，分别设有一可供螺栓螺设，并使螺栓可穿入阀门的固定座，该固定座的周缘设有一压板，该压板设于阀门上；另该阀门相对于抵压面一面的周缘，设有一O型环，O型环密实压抵于抵压面上。